2.精密位移测量与控制：在精密机床、半导体制造设备（如光刻机）、精密测量仪器中，它被用于测量工作台、刀架、镜片等部件的微小位移和形变，实现纳米级的定位与控制，保证加工和测量的超高精度。 1.与激光位移传感器…...
