山金 kofloc科赋乐 HFC-303-1/2SW-N2-100SLM 质量流量计
HFC-303 热式质量流量控制器技术规格（中文结构化版）
核心产品型号
HFC-303：高流量热式质量流量控制器（Mass Flow Controller, MFC），集成比例电磁阀与空载二段阀，专为大流量精密气体控制设计
关键技术参数
表格
环境适应性
允许工作温度： 5 ～ 45°C
允许保存温度： -10 ～ 60°C
允许周围湿度： 10% ～ 90% RH（无结露）
材质信息
接触气体材质：SUS316、Ni、SUS302、FKM（氟橡胶）
密封结构：金属密封+FKM密封圈，确保高气密性与耐化学性
※材质可能因选型不同而变更
电气与信号接口
电气连接器： D-sub 15E（15针，工业标准，带锁紧螺纹）
流量设定信号输入： 0～5VDC（输入阻抗 ≥1 MΩ）
流量输出信号： 0～5VDC（负载电阻 ≥250 kΩ）
电源要求：
+15VDC（±5%），功耗 ≤150mA
-15VDC（±5%），功耗 ≤300mA
接头与机械规格
标准接口（本体口径）：
1/2 SWL（3/4-16 UNF 锥形螺纹，Swagelok®标准）
3/4 SWL（1-1/16-12 UNF 锥形螺纹，Swagelok®标准）
重量：约 2400g（含阀体）
二次侧压力限制：
无阀型： 0 MPa（常压）
有阀型： ≤0.1 MPa（出口背压限制）
产品特点与应用
高流量精密控制：支持高达1000 slm的气体流量，适用于半导体、光伏、化工等工业级气体控制系统
双阀结构：比例电磁阀实现连续调节，空载二段阀确保断电安全关闭
高耐压设计：HP选项支持6.8 MPa高压环境，满足特殊工艺需求
低泄漏设计：金属密封结构实现极低氦泄漏，适用于高纯气体系统
兼容性强：输出信号与主流PLC、控制器兼容，便于系统集成
使用与安装规范
仅限使用： 干燥、无腐蚀性、无粉尘、无油雾的洁净气体
精度保障： 所有精度参数基于N₂气体标定，其他气体需使用 校正因子（CF值）进行换算
配管要求：
入口侧（一次侧）：必须设置 ≥300mm的直管段
出口侧（二次侧）：建议设置 ≥150mm直管段
配管内径需与流量计口径一致，避免缩径或扩张导致测量误差
校正气体：必须使用与标定气体一致的校正气源进行定期校准
型号命名示例：HFC-303 /1/2SW /N2 /100SLM /20°C
关键选型参数：
接口类型： 1/2 SWL 或 3/4 SWL
是否带阀： V（有） / O（无）
流体种类：N₂、H₂、He、Ar、O₂、CO₂ 等
满量程流量：100SLM、300SLM、500SLM、1000SLM
校正温度：标准为20°C
高压选项： HP（6.8 MPa）
选配件：
连接电缆：CP-HFC-303-CF（需匹配D-sub15E引脚定义）
