日本MAGNESCALE线性编码器LY71
一、核心参数
分辨率：0.1μm（可达1nm插补）
测量长度：70-1000mm（可定制）
线性精度：±1μm/m（20℃环境）
重复定位精度：±0.2μm
二、工作原理 ▶ 磁栅尺周期：0.2mm（磁性标尺） ▶ 读取方式：非接触磁感应 ▶ 输出信号：1Vpp正弦波（可选SSI/EtherCAT）
三、机械特性
响应速度：5m/s（）
允许间隙：±0.3mm（安装公差）
防护等级：IP67（全封闭式）
热膨胀系数：11×10⁻⁶/K（与钢相近）
四、电气规格
供电电压：5VDC ±5%
功耗：≤1.5W
信号周期：4μm（电气细分后）
温度漂移：＜0.5ppm/℃
五、典型应用 • 超精密机床位置反馈 • 光刻机工件台控制 • 三坐标测量机 • 半导体封装设备
六、安装要点
基准边安装平面度需＜0.02mm/m
磁栅尺与读头间隙保持0.3±0.05mm
需使用接地线（抗干扰）
避免强磁场环境（＞50mT）
七、环境适应性
工作温度：0-50℃（无凝露）
抗振动：15G（11ms半正弦波）
防护涂层：耐切削油/防锈处理
