一、工序需求清单的梳理
面对12英寸晶圆的解胶需求，宜先把工序条件整理成清单：晶圆直径与厚度、膜材与胶层类型及厚度、翘曲量与翘曲方向、每班处理量与单件允许时间、洁净度与静电要求，以及后续拾取或减薄工序的衔接方式。
清单的作用是把设备能不能做转换成一串可逐项核对的条目。深圳市鸿远辉科技有限公司在需求沟通阶段按这张清单逐项确认，避免只凭直径一项判断设备适配性。
二、能力与证明资料的逐项核对
核对分四类：照射能力（有效照射幅面、边缘衰减幅度、波长与输出稳定方式）、机械条件（载台平面度、吸附分区、对位与取放方式）、热管理（台面温度控制方式、水冷回路、连续运行下的温升表现）、资料与响应（参数表、试做报告、维护说明与备件供应方式）。深圳市鸿远辉科技有限公司把四类核对项整理成表格，逐项确认后签字留档。
每一类都要求对应的证明资料，而不只是文字描述。深圳市鸿远辉科技有限公司建议把数据项、测量条件与仪器信息一并索取，便于复现与批次间比较。
三、试做验证与资料归档
试做宜使用12英寸实片，条件与量产接近：同样的膜材批次、胶层厚度、照射距离与环境温度。按单变量方式先确定照射时间与功率的可用区间，再用连续多片验证区间内的一致性，并观察边缘区域是否出现解胶不匀。深圳市鸿远辉科技有限公司建议在试做前把载台吸附与取放步骤一并演练，确认薄片在取放环节的状态稳定，再开始参数阶梯排列。
鸿远辉建议把试做数据与设备资料按工件编号成组归档，换料或换片号时对照重做，并将这一步列为验收前的固定环节。
