一次弧光故障引发的跳闸,影响的不只是供电本身,更是光刻机、蚀刻机等精密设备的正常运行,以及整条产线上在制品的报废损失。安科瑞ARB弧光保护系统的传感器和装置安静地嵌入其中——平日里它们不声不响,但一旦弧光故障…...