IR烘烤允许减少工艺时间和降低烘烤温度，从而实现高深宽比和低应力SU-8层。报告了红外烘烤两种厚层正性光刻胶和一种化学放大负性光刻胶的实验结果。 本文报告了工艺条件，特别是烘烤程序对高厚度光刻胶图案质量的影…...
