红外线加湿器，也常被称为远红外线加湿器，属于等温干蒸汽加湿类别，早期在进口精密空调上应用较多，艾默生精密空调配套机型就是大家比较熟悉的红外线加湿应用案例。灯管属于热辐射器件，持续长时间大功率运行状态下灯管存在…...
IR烘烤允许减少工艺时间和降低烘烤温度，从而实现高深宽比和低应力SU-8层。报告了红外烘烤两种厚层正性光刻胶和一种化学放大负性光刻胶的实验结果。 本文报告了工艺条件，特别是烘烤程序对高厚度光刻胶图案质量的影…...
