论文中用射频磁控溅射做不同厚度样品，用四探针测ITO薄膜电阻率，并考察膜厚对残余应力与表面粗糙度的影响。 研发阶段用不同膜厚样品做多点ITO方阻测试，看均匀性；工艺验证阶段再比较批次间差异，把薄膜方阻测试、…...
