国家知识产权局信息显示，华海清科（北京）科技有限公司申请一项名为“一种晶圆夹持机构和晶圆清洗装置”的专利，公开号CN121925091A，申请日期为2026年1月。
专利摘要显示，本发明公开了一种晶圆夹持机构和晶圆清洗装置，属于半导体制造技术领域。该晶圆夹持机构，用于在晶圆背面清洗过程中夹持并保护晶圆，其包括：支撑盘，用于支撑待处理的晶圆；气路系统，设置于所述支撑盘内，用于向晶圆正面提供气流，以在清洗过程中通过伯努利效应使晶圆悬浮并形成保护晶圆正面的气流屏障；机械顶升装置，集成于所述支撑盘中，用于在取放片时将晶圆抬升至高于清洗悬浮高度的取放高度；以及，控制单元；其中，所述气路系统与所述机械顶升装置协同设置，使得在由所述机械顶升装置执行抬升动作的过程中，所述气路系统维持一低于清洗悬浮气流流量的维持气流，以在抬升过渡阶段稳定晶圆位置并维持基础气体屏障。
天眼查资料显示，华海清科（北京）科技有限公司，成立于2019年，位于北京市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本15000万人民币。通过天眼查大数据分析，华海清科（北京）科技有限公司参与招投标项目83次，专利信息126条，此外企业还拥有行政许可9个。
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