微导纳米取得物质输送系统相关专利，四阀切换实现化学物质高效输送供膜沉积(微导纳米科技股份有限公司招聘)

7月25日消息，国家知识产权局信息显示，江苏微导纳米科技股份有限公司申请一项名为“一种化学物质输送系统及方法”的专利，授权公告号CN116837348B，授权公告日为2026年7月24日。申请公布号为CN116837348A，申请号为CN202310783458.8，申请公布日期为2026年7月24日，申请日期为2023年6月28日，发明人龚炳建、许所昌、侯永刚，专利代理机构北京集佳知识产权代理有限公司，专利代理师王宝筠，分类号C23C16/448、C23C16/52。

专利摘要显示，本申请提供一种化学物质输送系统及方法，载气进气口通过第一载气支路与汽化器连接，载气进气口通过第二载气支路分别与第一和第二阀门连接；第一阀门连接前级管路，第二阀门连接反应腔体；汽化器通过液体化学物质输送管路，与液体化学物质输送系统连接；汽化器通过薄膜沉积管路分别与第三和第四阀门连接；第三阀门连接前级管路，第四阀门连接反应腔体；第一阀门和第四阀门用于在输送化学蒸汽时开启，在进行吹扫时关闭；第二阀门和第三阀门用于在进行吹扫时开启，在输送化学蒸汽时关闭。从而本申请通过四个阀门之间的快速切换，可快速将大量化学物质输入反应腔，满足微观结构复杂的薄膜沉积的需求。

微导纳米是国内原子层沉积（ALD）设备领域领军企业，专注高端薄膜沉积装备研发，具备全产业链技术壁垒。公司成立于2015年12月25日，于2022年12月23日登陆上海证券交易所，注册及办公地点均位于江苏省无锡市。

公司以ALD技术为核心，聚焦先进微、纳米级薄膜沉积技术和设备的研究与产业化应用，为光伏、集成电路、柔性电子等半导体与泛半导体行业提供高端装备与技术解决方案，申万行业分类隶属于电力设备-光伏设备-光伏加工设备，同时覆盖集成电路、存储概念、半导体设备等热门概念板块。

2025年，微导纳米实现营业收入26.33亿元，在12家同行业可比公司中排名第9，低于行业平均56.11亿元、行业中位数45.56亿元，同期行业营收前两位分别为捷佳伟创154.72亿元、晶盛机电113.57亿元；营收结构中光伏设备贡献15.91亿元占比60.43%，半导体设备贡献8.81亿元占比33.45%，配套产品及服务贡献1.44亿元占比5.47%，其余业务合计占比不足1%。同期公司实现净利润2.19亿元，行业排名第7，低于行业平均5.17亿元、行业中位数2.96亿元，行业净利润前两位分别为捷佳伟创26.18亿元、晶盛机电8.59亿元。

江苏微导纳米科技股份有限公司近期专利情况如下：